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晶圆烘焙技术即将遇到瓶颈 光刻波长接近极限(2010-09-09)

锁定工业医疗等高价值MEMS市场成长强劲(2010-09-09)

霍尼韦尔推出ZEPHYR数字式气流传感器(2010-05-20)

振弦式传感器电子标签管理系统的设计与实现(2010-02-09)

双丰集团：小传感器撬动能源大产业(2010-01-24)

传感器与检测仪表发展趋势之浅谈(2010-01-24)

威海双丰电子石油勘探加速度传感器产业化(2009-09-02)

英研制微型振动发电机 可为无线传感器供电(2009-06-02)

基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研制(2008-04-09)

用RF-MEMS实现可调谐天线(2008-05-05)

松下电器开发出电流检测DNA序列新技术(2008-09-05)

信越化学开发出用于MEMS模具的硅橡胶(2008-09-01)

【SID】以MEMS开关驱动有机EL面板(2008-07-24)

基于MEMS传感器的斜度测量系统设计(2008-04-09)

RF MEMS市场呈爆炸性增长(2008-05-08)

新MEMS喷墨单芯片-明基开发成功(2008-05-19)

RF MEMS市场呈爆炸性增长，测试领域应用成为主推力(2008-05-19)

采用MEMS进行读取，Nanochip展开兆兆位存储器芯片开发(2008-05-19)

现有产品的振子结构示意图(2008-05-19)

TeraVicta公司MEMS开关系列新增0~26.5GHz产品(2008-05-15)

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