现有产品的振子结构示意图

　　美国SiTime公司正在开发未来用于硅振荡器的新构造MEMS振子。这是来日访问的该公司首席执行官Rajesh Vashist透露的。

　　一般来说，MEMS振荡器（硅振荡器）是由利用MEMS技术制造的硅共振结构（振子）和驱动电路等组合构成的。该公司目前量产的产品使用共振频率为5MHz的振子，通过PLL电路转换为符合客户要求的频率后输出时钟。

　　今后，该公司计划开发高精度(低抖动）、高单价的产品，为此将利用能够产生更高共振频率的振子。通过提高基础频率，在利用PLL电路提高频率时，时间轴方向的误差（抖动）值（比例）不易增大。高共振频率的振子由于能够缩小元件尺寸，因此有助于降低成本。

　　目前，能够得到5MHz共振频率的振子俯视时呈长方形，且采用梁柱连接对角的结构。而与此相对，能得到10倍于目前的、约50MHz共振频率的元件，则可能有各种各样的结构。譬如有三叶草型等多种选择，该公司将根据客户的要求分别采用不同的结构。

　　该公司此前一直使用MEMS技术开发振子和振荡器这两个领域的产品，以此来侵蚀水晶振荡器市场，而最近还打算进军第三市场,也就是“用模拟IC实现的时钟元件市场”。这样一来，（Vashist)预计将会有“总额达到60亿美元的市场规模”，使该公司实现持续增长，并争取实现股票首次公开上市（IPO）。SiTime公司将在5月15～16日《日经微件器》举办的技术论坛“MEMS International 2008”上，就MEMS振荡器的技术战略发表演讲。